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日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵 Model:GR北崎热卖

更新时间：2025-08-19&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;浏览次数：292

多级罗茨型干泵Model:GR

干泵"惭辞诲别濒:骋搁"是以获得良好业绩和信赖的"惭辞诲别濒:尝搁/贬搁"为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。

  • GR60

  • GR90

  • GR180

特点


  • 可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。

  • 适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。

  • 感应电机可通用

  • 可以安装防爆电机等特殊电机（可选）

  • 采用多电压兼容电机


用途


  • 空气、惰性气体等洁净气体的真空排气

  • 各种成膜设备放入取出室的真空排气

  • 真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业

  • 真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充


规格


型号GR60AGR90AGR180A
最大排气速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1860)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
极限压力 *1Pa5.0
最大排气压力（吸入圧力）大气压
最大排气口压力（排出圧力）Pa1.0 ~ 大气压
吸气口VG50VG80
排气口NW40
顿搁笔表面处理〇
电机输出 [kW]2.23.77.5
电压 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
质量kg128188268
冷却方式冷却水
一次供给压力		MPa0.1~0.3
冷却水
出入口压差		MPa>0.1
冷却水温度℃10~30 *2
冷却水流量L/min>5.0
氮气一次侧
供给圧力		MPa0.1~0.5
二次侧
调整圧力 *3		MPa0.05 to 0.1 (运作时)
轴SLM5.0 *4

*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。

配件

型号材质表面处理重量(办驳)法兰接口GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件础		SUS304骋叠叠处理4.1KF40〇〇-
RS-01+
套件颁		SUS304骋叠叠处理8.3KF40--〇



排气速度曲线

GR_curve.png


尺寸图

  • GR60GR-60_en_size.png

  • GR90AGR-90A_en_size.png

  • GR180GR-180_en_size.png







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